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MOSFET的擊穿有哪幾種?

時間:2021-04-26 17:07:08來源:平尚科技 作者:小谷 點擊:
Source、Drain、Gate —— 場效應管的三極:源級S、漏級D、柵級G。(這里不講柵極GOX擊穿了啊,只針對漏極電壓擊穿)

先講測試條件,都是源柵襯底都是接地,然后掃描漏極電壓,直至Drain端電流達到1uA。所以從器件結構上看,它的漏電通道有三條:Drain到source、Drain到Bulk、Drain到Gate。
Source、Drain、Gate —— 場效應管的三極:源級S、漏級D、柵級G。(這里不講柵極GOX擊穿了啊,只針對漏極電壓擊穿)

先講測試條件,都是源柵襯底都是接地,然后掃描漏極電壓,直至Drain端電流達到1uA。所以從器件結構上看,它的漏電通道有三條:Drain到source、Drain到Bulk、Drain到Gate。

 Drain→Source穿通擊穿:

這個主要是Drain加反偏電壓后,使得Drain/Bulk的PN結耗盡區延展,當耗盡區碰到Source的時候,那源漏之間就不需要開啟就形成了通路,所以叫做穿通(punch through)。

那如何防止穿通呢?這就要回到二極管反偏特性了,耗盡區寬度除了與電壓有關,還與兩邊的摻雜濃度有關,濃度越高可以抑制耗盡區寬度延展,所以flow里面有個防穿通注入(APT:AnTI Punch Through),記住它要打和well同type的specis。

當然實際遇到WAT的BV跑了而且確定是從Source端走了,可能還要看是否 PolyCD或者Spacer寬度,或者LDD_IMP問題了,那如何排除呢?這就要看你是否NMOS和PMOS都跑了?POLY CD可以通過Poly相關的WAT來驗證。對吧?

對于穿通擊穿,有以下一些特征:
穿通擊穿的擊穿點軟,擊穿過程中,電流有逐步增大的特征,這是因為耗盡層擴展較寬,產生電流較大。另一方面,耗盡層展寬大容易發生DIBL效應,使源襯底結正偏出現電流逐步增大的特征。

穿通擊穿的軟擊穿點發生在源漏的耗盡層相接時,此時源端的載流子注入到耗盡層中,被耗盡層中的電場加速達到漏端,因此,穿通擊穿的電流也有急劇增大點,這個電流的急劇增大和雪崩擊穿時電流急劇增大不同,這時的電流相當于源襯底PN結正向導通時的電流,而雪崩擊穿時的電流主要為PN結反向擊穿時的雪崩電流,如不作限流,雪崩擊穿的電流要大。

穿通擊穿一般不會出現破壞性擊穿。因為穿通擊穿場強沒有達到雪崩擊穿的場強,不會產生大量電子空穴對。

穿通擊穿一般發生在溝道體內,溝道表面不容易發生穿通,這主要是由于溝道注入使表面濃度比濃度大造成,所以,對NMOS管一般都有防穿通注入。

一般的,鳥嘴邊緣的濃度比溝道中間濃度大,所以穿通擊穿一般發生在溝道中間。

多晶柵長度對穿通擊穿是有影響的,隨著柵長度增加,擊穿增大。而對雪崩擊穿,嚴格來說也有影響,但是沒有那么顯著。

Drain→Bulk雪崩擊穿:

這就單純是PN結雪崩擊穿了(Avalanche Breakdown),主要是漏極反偏電壓下使得PN結耗盡區展寬,則反偏電場加在了PN結反偏上面,使得電子加速撞擊晶格產生新的電子空穴對 (Electron-Hole pair),然后電子繼續撞擊,如此雪崩倍增下去導致擊穿,所以這種擊穿的電流幾乎快速增大,I-V curve幾乎垂直上去,很容燒毀的。(這點和源漏穿通擊穿不一樣)

那如何改善這個junction BV呢?所以主要還是從PN結本身特性講起,肯定要降低耗盡區電場,防止碰撞產生電子空穴對,降低電壓肯定不行,那就只能增加耗盡區寬度了,所以要改變 doping profile了,這就是為什么突變結(Abrupt junction)的擊穿電壓比緩變結(Graded junction)的低。這就是學以致用,別人云亦云啊。

當然除了doping profile,還有就是doping濃度,濃度越大,耗盡區寬度越窄,所以電場強度越強,那肯定就降低擊穿電壓了。而且還有個規律是擊穿電壓通常是由低 濃度的那邊濃度影響更大,因為那邊的耗盡區寬度大。公式是BV=K*(1/Na+1/Nb),從公式里也可以看出Na和Nb濃度如果差10倍,幾乎其中一 個就可以忽略了。

那實際的process如果發現BV變小,并且確認是從junction走的,那好好查查你的Source/Drain implant了。

Drain→Gate擊穿:

這個主要是Drain和Gate之間的Overlap導致的柵極氧化層擊穿,這個有點類似GOX擊穿了,當然它更像Poly finger的GOX擊穿了,所以他可能更care poly profile以及sidewall damage了。當然這個Overlap還有個問題就是GIDL,這個也會貢獻Leakage使得BV降低。

上面講的就是MOSFET的擊穿的三個通道,通常BV的case以前兩種居多。Off-state下的擊穿,也就是Gate為0V的時候,但是有的時候Gate開啟下Drain加電壓過高也會導致擊穿的,我們稱之為On-state擊穿。這種情況尤其喜歡發生在Gate較低電壓時,或者管子剛剛開啟時,而且幾乎都是NMOS。所以我們通常WAT也會測試BVON。w w w . d z i u u . c o m

非常感謝用戶pingshang88 的投稿!

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